Suppression of boron transient enhanced diffusion by C trapping

DE SALVADOR, DAVIDE;BISOGNIN, GABRIELE;NAPOLITANI, ENRICO;BERTI, MARINA;CARNERA, ALBERTO;DRIGO, ANTONIO;
2002
2002
9th International Autumn Meeting. Gettering and Defect Engineering in Semiconductor Technology
04.01 - Contributo in atti di convegno
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