Characterisation of a magnetron sputtering plasma by Langmuir and magnetic probes

	Anno
	
			1999
		
	Codice ISBN
	
			8390231956
		
	Appare nelle tipologie:
	
			04.01 - Contributo in atti di convegno

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Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11577/2510597