High resolution patterning of a sol-gel synthesized alumina-like negative photo-resist with low voltage EBL / Gianluca, Grenci; Pozzato, Alessandro; Zanchetta, Erika; DELLA GIUSTINA, Gioia; Brusatin, Giovanna; Massimo, Tormen. - (2013). ((Intervento presentato al convegno 39th International Conference on Micro and Nano Engineering tenutosi a London.
Titolo: | High resolution patterning of a sol-gel synthesized alumina-like negative photo-resist with low voltage EBL |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2013 |
Handle: | http://hdl.handle.net/11577/2840904 |
Appare nelle tipologie: | 04.02 - Abstract in atti di convegno |
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