Gaussian Time Error: A new index for fault detection in semiconductor processes

ROSSI, FRANCESCO;
2016
2016
Proceedings of the American Control Conference
PROCEEDINGS OF THE AMERICAN CONTROL CONFERENCE
2016 American Control Conference, ACC 2016
WOS:000388376103051
2-s2.0-84992073939
9781467386821
04.01 - Contributo in atti di convegno
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