High precision structural measurements on thin epitaxial layers by means of ion-channeling / Carnera, Alberto; Drigo, Antonio. - In: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH. SECTION B, BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - ISSN 0168-583X. - 44:(1990), pp. 357-366.
Titolo: | High precision structural measurements on thin epitaxial layers by means of ion-channeling | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1990 | |
Rivista: | ||
Handle: | http://hdl.handle.net/11577/139375 | |
Appare nelle tipologie: | 01.01 - Articolo in rivista |
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