Questo contributo presenta alcuni casi di applicazione della spettrometria Auger allo studio dei fenomeni di interdiffusione in metallizzazioni multistrato a base di Au utilizzate per il contatto Schottky di dispositivi MESFET su GaAs
Applicazioni della spettrometria Auger all'analisi guasto di MESFET al GaAs
ZANONI, ENRICO
1984
Abstract
Questo contributo presenta alcuni casi di applicazione della spettrometria Auger allo studio dei fenomeni di interdiffusione in metallizzazioni multistrato a base di Au utilizzate per il contatto Schottky di dispositivi MESFET su GaAs
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