Deep X-ray lithography for direct patterning of PECVD films / Costacurta, Stefano; Malfatti, Luca; Patelli, Alessandro; Falcaro, Paolo; Amenitsch, Heinz; Marmiroli, Benedetta; Grenci, Gianluca; Piccinini, Massimo; Innocenzi, Plinio. - In: PLASMA PROCESSES AND POLYMERS. - ISSN 1612-8850. - 7:6(2010), pp. 459-465. [10.1002/ppap.200900147]
Titolo: | Deep X-ray lithography for direct patterning of PECVD films | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 2010 | |
Rivista: | ||
Handle: | http://hdl.handle.net/11577/3185021 | |
Appare nelle tipologie: | 01.01 - Articolo in rivista |
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