Deep X-ray lithography for direct patterning of PECVD films

COSTACURTA, STEFANO;MALFATTI, LUCA;PATELLI, ALESSANDRO;FALCARO, PAOLO;INNOCENZI, PLINIO
2010
2010
PLASMA PROCESSES AND POLYMERS
WOS:000279494500003
2-s2.0-77954943265
01.01 - Articolo in rivista
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11577/3185021
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 19
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 18
social impact