Novel Hybrid Organic-Inorganic Spin-on Resist for Electron- or Photon-Based Nanolithography with Outstanding Resistance to Dry Etching

ZANCHETTA, ERIKA;DELLA GIUSTINA, GIOIA;BRUSATIN, GIOVANNA
2013

2013
File in questo prodotto:
Non ci sono file associati a questo prodotto.
Pubblicazioni consigliate

I documenti in IRIS sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.

Utilizza questo identificativo per citare o creare un link a questo documento: https://hdl.handle.net/11577/2684404
Citazioni
  • ???jsp.display-item.citation.pmc??? ND
  • Scopus 32
  • ???jsp.display-item.citation.isi??? 0
social impact