Novel Hybrid Organic-Inorganic Spin-on Resist for Electron- or Photon-Based Nanolithography with Outstanding Resistance to Dry Etching / Zanchetta, Erika; DELLA GIUSTINA, Gioia; Gianluca, Grenci; Alessandro, Pozzato; Massimo, Tormen; Brusatin, Giovanna. - In: ADVANCED MATERIALS. - ISSN 0935-9648. - STAMPA. - 25(2013), pp. 6261-6265.
Titolo: | Novel Hybrid Organic-Inorganic Spin-on Resist for Electron- or Photon-Based Nanolithography with Outstanding Resistance to Dry Etching |
Autori: | |
Data di pubblicazione: | 2013 |
Rivista: | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11577/2684404 |
Appare nelle tipologie: | 01.01 - Articolo in rivista |
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