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Formation and incorporation of SiF4 molecules in F-implanted preamorphized Si
2009 DE SALVADOR, Davide; Bisognin, Gabriele; Napolitani, Enrico; Mastromatteo, Massimo; Baggio, N; Carnera, Alberto; Boscherini, F; Impellizzeri, G; Mirabella, S; Boninelli, S; Priolo, F; Cristiano, F.
B diffusion and activation phenomena during post-annealing of C co-implanted ultra-shallow junctions
2006 DI MARINO, Marco; Napolitani, Enrico; Mastromatteo, Massimo; Bisognin, Gabriele; DE SALVADOR, Davide; Carnera, Alberto; Mirabella, S; Impellizzeri, G; Priolo, F; Graoui, H; Foad, Ma
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